263. Institutskollo­quium IFTE - Kalibrierung von Fabry-Pérot-Detektoren mit Festkörpereta­lons

Infrarotsensoren werden insbesondere in der Gasanalyse und der Infrarotspektroskopie
eingesetzt. Eine technologische Neuheit sind hier die Fabry-Pérot-Detektoren, die im
Gegensatz zu den klassischen Infrarotsensoren mit Festfiltern über einen durchstimmbaren Filter verfügen. Dies bietet in verschiedenen Anwendungsbereichen den Vorteil, ganze Absorptionsspektren von Proben messen zu können, während herkömmliche IR-Detektoren nur einzelne, feste Messpunkte bestimmen.

Die Fabry-Pérot-Detektoren basieren auf einem mikromechanischen Spiegelsystem, das
kalibriert werden muss, um Fertigungsstreuungen und Temperatureinflüsse zu
kompensieren. Zu diesem Zweck wird ein kostengünstiges und skalierbares
Kalibrierverfahren gesucht, das ohne den Einsatz eines Fourier-Transformations-
Infrarotspektrometers auskommt. Der hier verfolgte Ansatz ist die Verwendung von
Festkörper-Etalons als Kalibriernormale. Um dieses Verfahren bei Fabry-Pérot-Detektoren
anzuwenden, ist eine genaue Charakterisierung der Einflussgrößen auf den Prozess sowie
eine Optimierung des verwendeten elektromechanischen Modells notwendig.