Nov 01, 2023; Colloquium
656. ELEKTROTECHNISCHES KOLLOQUIUM
Speaker(s)
Dr. rer. nat. Alexander Martin Hinz, TU Dresden, Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik
Start and end time
04:45 PM
-
06:15 PM
Location
TU Dresden, Toeplerbau TOE 317 auf der Mommsenstraße 10
Die Abscheidung von verschiedensten Verbindungen wie Oxiden und Nitriden als Dünnschichten ist essentiell für die moderne Halbleiterfertigung. Reaktives Magnetronsputtern wurde lange nicht als relevanter Prozess für die Halbleiterfertigung beachtet. Das erstarkende Interesse an dieser Technologie ist die Motivation für diesen Vortrag