Veröffentlichte Journale 2011
Antisticking Layers on Antireflective Chromium for Hybrid (CNP) Nanoimprint Molds
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Proc. SPIE
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Band/Vol.
7545
Seiten
7545
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
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