Forschen am Puls der Zeit
Die Forschung am IHM umfasst im wesentlichen die drei Bereiche der Halbleitertechnik, der Mikrosystemtechnik sowie der optoelektronischen Bauelemente und Systeme. Erfahren Sie auf den folgenden Seiten mehr über die Forschungsaktivitäten und Forschungsprojekte.
© Amac Garbe
Forschungsfelder
Die Forschung am IHM umfasst im wesentlichen die drei Bereiche der Halbleitertechnik, der Mikrosystemtechnik sowie der optoelektronischen Bauelemente und Systeme.
Gegenstand der Untersuchungen im Bereich Halbleitertechnik sind die Mikro- und Nanostrukturierung von Halbleitern, Isolatoren und Metallen und die damit verbundenen elektrischen, mechanischen und thermischen Effekte. Der Bereich Mikrosystemtechnik beschäftigt sich mit dem Entwurf, der Simulation, den Fertigungstechniken und der Messung von organischen Halbleiterbauelementen, intelligenten Sensoren, Gassensoren, SAW-Bauelemente sowie der Energieversorgung von Mikrosystemen. Der Bereich Optoelektronische Bauelemente und Systeme beschäftigt sich mit den Grundlagen und den Fertigungstechniken der Herstellung von innovativen Produkten wie z.B. OLEDs, Mikrospiegelarrays und MOEMS-Scannerspiegeln.