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Fundamental relationship between capacitance-time measurements and gravimetric measurements for water absorption in a low-k dielectric
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Interconnect Technology Conference and 2011 Materials for Advanced Metallization (IITC/MAM), 2011 IEEE International
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Seiten
1-3
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2011
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