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Dynamic High Rate Deposition of Microcrystalline Silicon with Very High Excitation Frequencies (80-150MHz) Using Linear Plasma Sources
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of 26th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (2011)
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Seiten
2499-2501
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2011
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