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Investigations on Ru-Mn films as plateable Cu diffusion barriers
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
In: Interconnect Technology Conference and 2011 Materials for Advanced Metallization (IITC/MAM), 2011 IEEE International, 2011
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Seiten
1-3
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
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