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Dynamic VHF-PECVD technique for flexible substrate coating
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. of the 54th Annual SVC Technical Conference, Chicago 2011
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
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