Publications
Flash Light Induced Atomic Layer Deposition
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Subtherm 2011 – International Topical Workshop on Subsecond Thermal Processing of Advanced Materials, October 25 – 27, 2011, Dresden
Schlagwörter
Atomic Layer Deposition, Flash Heating
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2011
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