Publications

Junige, M. ; Albert, M. ; Bartha, J.W.

Opportunities and challenges of ellipsometry for process monitoring in atomic layer deposition

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

7th Workshop Ellipsometry : March 05-07, 2012 Leipzig, Germany. Leipzig, 2012

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2012

Band/Vol.

Vortrag und Poster

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Zugeordnete Forschungsschwerpunkte

Berichtsjahr

2012

Export

Categories