Publications

Leszczynska, B. ; Strobel, C. ; Albert, M. ; Bartha, J.W. ; Kuske, J.

High Rate PECVD Deposition of Silicon Thin Films at Very High Excitation Frequencies (81.36-140 MHz)

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

Proceedings of 27th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition 2012

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2012

Seiten

2507-2510

Referiert

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2012

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