Publications

Singh, A. ; Hossbach, C. ; Hodson, C. ; Fang, Qi ; Schröder, U. ; Mikolajick, T.

Low temperature HfO2 and Al2O3 single layer and multilayer structures

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

12th International Conference on Atomic Layer Deposition AVS-ALD & Baltic ALD 2012: June 18 – 20, 2012, Dresden

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2012

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2012

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