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Junige, M. ; Schmidt, D. ; Barry, Seán T. ; Bartha, J.W. ; Schubert, M.

Evaluation of a metal-organic precursor with regard to a gold ALD process by utilizing in-situ spectroscopic ellipsometry

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

AVS 13th International Conference on Atomic Layer Deposition : July 28 – 31, 2013, San Diego, California, USA. San Diego, 2013

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2013

Band/Vol.

Vortrag

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Zugeordnete Forschungsschwerpunkte

Berichtsjahr

2013

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