Publications

Junige, M. ; Tanner, R. ; Wenger, C. ; Lupina, G. ; Albert, M. ; Bartha, J. W.

Ta2O5 by thermal-activated ALD

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

Conference: DPG Frühjahrstagung Dresden, 30.03.-04.04.2014

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2014

Band/Vol.

Vortrag

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2014

Export

Categories