Publications

Künzelmann, K. ; Müller, M. R. ; Kallis, K. ; Schütte, F. ; Menzel, S. ; Engels, S. ; Fong, J. ; Lin, C. ; Dysard, J. ; Bartha, J. W. ; Knoch, J.

Chemical-Mechanical Planarization of Aluminium Damascene Structures

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

ICPT 2012 International Conference on Planarization/CMP Technology, Grenoble, France, October 15-17

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2012

Referiert

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2012

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