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Müller, M. R. ; Künzelmann, U. ; Menzel, S. ; Petrov, I. ; Kallis, K. ; Knoch, J.

Tackling Hillocks Growth after Aluminum CMP

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

ICPT 2014 International Conference on Planarization /CMP Technology, Kobe, Japan, November 19-21, 2014

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2014

Referiert

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2014

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