Publications

Sobottka, A. ; Drößler, L. ; Hossbach, C. ; Abel, B. ; Helmstedt, U.

A Flexible Research Reactor for Atomic Layer Deposition with a Sample-Transport Chamber for in Vacuo Analytics

Typ der Veröffentlichung

Zeitschriftenaufsatz

Veröffentlicht in

American Journal of Nano Research and Application. Special Issue:Advanced Functional Materials

Schlagwörter

Atomic Layer Deposition, Reactor Design, in Vacuo Sample Transport, UV Irradiation

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2014

Band/Vol.

Heftnummer/Issue

6-1

Seiten

34-38

Referiert

Open Access

Nein

Url/Urn/Doi

Berichtsjahr

2014

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