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Deposition of intrinsic hydrogenated amorphous silicon for thin-film solar cells – a comparative study for layers grown statically by RF-PECVD and dynamically by VHF-PECVD
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Progress in Photovoltaics Research and Applications (Impact Factor: 9.7.)
Schlagwörter
dynamic deposition, VHF-PECVD, hydrogenated amorphous silicon, solar cells, degradation
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2014
Band/Vol.
22
Heftnummer/Issue
2
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
DOI: 10.1002/pip.2254
Berichtsjahr
2014
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