Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Quartz crystal microbalance sensors for atomic layer deposition process and equipment control
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
16th European Advanced Process Control and Manufacturing Conference (apc|m), Reutlingen, Germany
Schlagwörter
ALD, QCM, in-situ, Al2O3, TiO2, HfO2, film growth, process monitoring, process development
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2016
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2016
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente