Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
The ALD of Ru and RuO2 – An intertwined special case
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
AVS 16th International Conference on Atomic Layer Deposition : 24th – 27th July 2016, Dublin, Ireland. Dublin, 2016
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2016
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2016
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente