Publications
Chemical path to Atomic Layer Etching
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Novel high-k application workshop 2016. Dresden
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2016
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2016
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