Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Chemical path to Atomic Layer Etching
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Novel high-k application workshop 2016. Dresden
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2016
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2016
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente