Publications

Killge, S. ; Junige, M. ; Geidel, M. ; Neumann, V. ; Wenzel, C. ; Knaut, M. ; Albert, M. ; Bartha, J.W.

3D integration: ALD Ruthenium layers grown on metallic and oxide interfaces for TSV with high aspect ratios – Why blisters?

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

MAM 2016 – Materials for advanced metalization : 20th – 23th March 2016, Brussels, Belgium. Brussels, 2016

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2016

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2016

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