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In situ investigations on the crystal structure dependent ALD film growth of TiO2
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
18th AVS conference on Atomic Layer Deposition, Incheon, South Korea
Schlagwörter
ALD, QCM, in-situ, TiO2, crystallization, film growth, process monitoring
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2018
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2018
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Categories
Journals | Conferencens | Books | Patents