Veröffentlichte Journal-Beiträge
Simulation approach of Atomic Layer Deposition in large 3D structures
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Modelling and Simulation in Materials Science and Engineering
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2017
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
10.1088/1361-651X/aa5f9d
Berichtsjahr
2017
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