Veröffentlichte Konferenzbeiträge Rößler, T. ; Gluch, J. ; Knaut, M. ; Albert, M. ; Schröder, U. ; Teichert, S. ; Bartha, J.W. Characterization of ALD Hf-Y-OTyp der VeröffentlichungKonferenzbeitragVeröffentlicht inALD conference, 2008, BrüggeJahrgang/Erscheinungsjahr2008ReferiertNeinUrl/Urn/Doi http://Berichtsjahr2008ExportBibTeX