Veröffentlichte Konferenzbeiträge
The ALD of Ru and RuO2 – An intertwined special case
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
AVS 16th International Conference on Atomic Layer Deposition : 24th – 27th July 2016, Dublin, Ireland. Dublin, 2016
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2016
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2016
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