Veröffentlichte Konferenzbeiträge 2005
Barriere- und Schutzschichten auf TaSi Basis für Anwendungen in der Mikroelektronik, Sensor- und Solartechnik
Herausgeber
- Europäische Forschungsgemeinschaft Dünne Schichten e.V.
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
6. Wörlitzer Workshop Funktionelle Schichten – Dünne Schichten mit Barrierefunktion, 3. Juni 2005
Verlagsort
Dresden
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2005
Referiert
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Magnetronsputtern/ /Mikrogalvanik/RIE-Si-Tiefenätzen/Passivierungen
Berichtsjahr
2005
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