Veröffentlichte Konferenzbeiträge 2005
Analytical study of the structuring process for embedded SAW finger electrodes.
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
13. Tagung Festkörperanalytik, Chemnitz, 26.-29.06.2005
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2005
Vermerk
Neuerscheinung
Referiert
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Chemisch Mechanisches Planarisieren
Zugeordnete Forschungsprojekte
- SAW-Leistungsbauelemente in Kupfer-Damascene-Technik
Berichtsjahr
2005
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