Veröffentlichte Konferenzbeiträge 2014 11 bis 11 von 11 EinträgenHenke, T.; Knaut, M.; Hossbach, C.; Geidel, M.; Rebohle, L.; Albert, M.; Skorupa, W.; Bartha, J. W.: Flash-Lamp-Enhanced Atomic Layer Deposition of Thin Films. In: 226th ECS-Meeting, Symposium P1 - Atomic Layer Deposition Applications 10, 5.-9. Oktober 2014, Cancun, Mexiko ECS Transactions 64 (9) (2014), S. 167–189Zurück 1 2 Diese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.