Patente
Methode zur Herstellung gestapelter Nanoimprinttemplates mittels Transferpads bzw. -schichten
Art des Schutzrechtes
Patent
Entwicklungsstand
Praktische Erprobung
Erfinder
- Dipl.-Ing. Robert Kircher
- Prof.Dr.-Ing.habil. Wolf-Joachim Fischer
Anmelder
TU Dresden
Anmeldung
National
Aktenzeichen
DE 10.2009.053.195.5
Kontaktperson
Herr Dipl.-Ing. Robert Kirchner
Telefon: +49 (0)351 463 32653
Fax: +49 (0) 351 463 37021
E-Mail: robert.kirchner@mailbox.tu-dresden.de
Telefon: +49 (0)351 463 32653
Fax: +49 (0) 351 463 37021
E-Mail: robert.kirchner@mailbox.tu-dresden.de
Berichtsjahr
2009