Modul ET-12 12 03 - Angewandte Dünnschicht- und Solartechnik
Das Modul umfasst inhaltlich:
Qualifikationsziele
Nach Abschluss des Moduls sind die Studenten- mit der kinetischen Gastheorie,
- der Vakuumerzeugung und -messung,
- sowie der Dimensionierung von Vakuumanlagen vertraut.
- Verfahren der Dünnschichttechnik anzuwenden,
- Wechselwirkungen mit den Materialien und den Filmeigenschaften zu nutzen,
- die unterschiedlichen Solarzellentypen und ihrer Herstellungstechnologien zu differenzieren,
- die Methoden der Prozesskontrolle zu beherrschen sowie
- Ausfallmechanismen der Bauelemente zu charakterisieren.
Lehr- und Lernformen
6 SWS Vorlesung und SelbststudiumVoraussetzungen für die Teilnahme
Es werden Kompetenzen vorausgesetzt, wie sie z. B. in den Modulen Werkstoffe und Technische Mechanik sowie Naturwissenschaftliche Grundlagen erworben werden können.Verwendbarkeit
Das Modul ist ein Wahlpflichtmodul der Studienrichtung Mikroelektronik im Diplomstudiengang Elektrotechnik, im Master-Studiengang Elektrotechnik und im Diplomstudiengang Informationssystemtechnik.Voraussetzungen für die Vergabe von Leistungspunkten
Die Leistungspunkte werden vergeben, wenn die Modulprüfung bestanden ist. Die Modulprüfung ist eine mündliche Einzelprüfung von 45 Minuten Dauer.Leistungspunkte und Noten
Durch den erfolgreichen Abschluss des Moduls werden 7 Leistungspunkte erworben. Die Modulnote ist die Note der mündlichen Prüfungsleistung.Häufigkeit des Moduls
jährlich, im Sommersemester
Arbeitsaufwand
210 StundenDauer
1 Semester
Verantwortlicher Dozent: Prof. Dr. rer. nat. J. W. Bartha