Physikalische Mikroanalytik
Dr. rer. nat. C. Wenzel
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Modul Charakteriserung von Mikrostrukturen (ET-121205)
Physikalische Mikroanalytik
- zeitl. Ablauf: 2/0/0
- Zeit: Dienstag, 3. DS Vorlesungsbeginn: 15.10.2019
- Ort: Mierdel-Bau 116
Vorausgesetzte Kenntnisse
- Vordiplom
- Werkstoffe
- Halbleitertechnik
Ziel des Lehrfaches
Dargestellt werden die Notwendigkeit und die Möglichkeiten des Einsatzes der Physikalischen Mikroanalytik zur Charakterisierung von Werkstoffen der Mikroelektronik/Elektronik, von Veränderungen in diesen Werkstoffen durch Belastungen unterschiedlicher Art. Im Mittelpunkt stehen dabei elektronen- und ionenphysikalische Untersuchungsverfahren, ihre Wirkmechanismen, ihr Informationsgehalt und die erforderlichen Kombinationen mehrerer Methoden zur Bewältigung der analytischen Aufgaben in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik.
Praktika an modernen analytischen Geräten dienen der Vertiefung des behandelten Stoffes.
Inhalt des Lehrfaches:
Vorlesungen:
- Einsatz der Physikalischen Mikroanalytik für die Belange der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
- Wechselwirkung von Strahlung (Photonen, Elektronen, Ionen) mit einem Festkörper
- Elektronenmikroskopie, Rasterelektronen-Mikroskopie, Transmissions-Elektronenmikroskopie
- Röntgenspektrometrische Verfahren, Röntgenbeugung, energiedispersive bzw. winkelaufgelöste Röntgenmikroanalyse
- Elektronenspektrometrische Verfahren, Photoelektronen-Spektrometrie, Elektronen-Energieverlust-Spektrometrie, Augerelektronen-Spektrometrie
- Ionenspektrometrische Verfahren, Rutherford-Rückstreuung, Massenspektrometrische Verfahren, Sekundärionen-Massenspektrometrie, Laserangeregte Massen-Mikroanalyse
- Raster-Tunnel-Mikroskopie/Rastersondenmikroskopie
- Gerätetechnik/Weiterentwicklungen/Mikroanalytik zur Qualitätskontrolle