Modul ET-12 12 01 - Mikrosystem- und Halbleitertechnologie
Das Modul umfasst inhaltlich:
Qualifikationsziele
Die Studierenden sind nach erfolgreichem Abschluss dieses Moduls in der Lage, die Werkstoffe der Halbleiter- und Mikrotechnik für mikrosensorische und mikroaktorische Anwendungen gezielt auszuwählen, ihre funktionellen Parameter zu bestimmen und die zugehörigen Halbleitertechnologien der Strukturierung und Systemkonfiguration einzusetzen.Lehr- und Lernformen
8 SWS Vorlesung, 1 SWS Seminar, 3 SWS Praktikum und SelbststudiumVoraussetzungen für die Teilnahme
Es werden Kompetenzen vorausgesetzt, wie sie z.B. in den Modulen Grundlagen der Elektrotechnik, Werkstoffe und Technische Mechanik und Technologien und Bauelemente der Mikroelektronik erworben werden können.Verwendbarkeit
Das Modul ist ein Pflichtmodul des Hauptstudiums der Studienrichtung Mikroelektronik im Diplomstudiengang Elektrotechnik und Pflichtmodul im Basisbereich der Studienrichtung Mikroelektronik des Master-Studienganges Elektrotechnik. Es schafft Voraussetzungen für das Bestehen von Modulprüfungen des Wahlpflichtbereiches.Voraussetzungen für die Vergabe von Leistungspunkten
Die Leistungspunkte werden erworben, wenn die Modulprüfung bestanden ist. Die Modulprüfung besteht aus zwei mündlichen Einzelprüfungen von jeweils 35 Minuten Dauer.Leistungspunkte und Noten
Durch den erfolgreichen Abschluss des Moduls werden 12 Leistungspunkte erworben. Die Modulnote wird aus dem arithmetischen Mittel der Noten der beiden mündlichen Prüfungsleistungen gebildet.Häufigkeit des Moduls
jährlich, beginnend im Wintersemester
Arbeitsaufwand
360 Stunden
Dauer
2 Semester
aktuelle Modulbeschreibung der DSO Diplom-ET, 2013
Verantwortlicher Dozent: Prof. Dr.-Ing. Andreas Richter