BMBF
Erarbeitung von Grundlagen für eine in-line Partikel-Prozessmesstechnik - Teilthema: Modellierung und Grundlagenuntersuchungen zu den physikal. und mathemat. Zusammenhängen bei der Ultraschall-Rückstreumessung und der dynamischen Extinktionsspektroskopie
Kurzbeschreibung (Deutsch)
Aufbauend auf zwei verschiedenen Messmethoden wurden Grundlagen für künftige gerätetechnische Lösungen erarbeitet, die den Anforderungen an eine robuste, kostengünstige und einfach anwendbare in-line Partikel-Prozessmesstechnik genügen. Dabei wurden zwei inhaltliche Ziele verfolgt: 1. In-line Charakterisierung von Suspensionen der Nanotechnologie (z. B. CMP-Slurries bei der Halbleiterproduktion) durch optische Extinktionsmessungen; 2. In-line Charakterisierung von Dispersionen im Mikrometerbereich durch dynamische Ultraschall-Rückstreuung.
Zeitraum
04/2001 - 03/2004
Art der Finanzierung
Drittmittel
Projektleiter
- Herr Dr.-Ing. Benno Wessely
Projektmitarbeiter
- Herr Dipl.-Ing. Axel Gürtler
- Herr Dipl.-Ing. Karsten Reitz
Finanzierungseinrichtungen
- BMBF und Industrie
Kooperationspartnerschaft
keine
Interne Kooperationspartner
- GWT der TUD GmbH
Externe Kooperationspartner
- Aello c/o GWT der TUD GmbH (Deutschland)
Website zum Projekt
Relevant für den Umweltschutz
Nein
Relevant für Multimedia
Nein
Relevant für den Technologietransfer
Nein
Schlagwörter
Partikelmesstechnik, Prozessmesstechnik, Prozessanalytik, Ultraschall, Photometrische Trübungsmessung
Berichtsjahr
2004