1987-1990
TITANIUM GETTERING IN SILICON - INVESTIGATION BY DEEP LEVEL TRANSIENT SPECTROSCOPY AND SECONDARY ION MASS-SPECTROSCOPY
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
Jahrgang/Erscheinungsjahr
1987
Band/Vol.
62
Heftnummer/Issue
8
Seiten
3472-3474
Referiert
Nein
ISSN
0021-8979
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
1987
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