Vortragsthema

Prof. Wolfhard Möller
Atom-Billard: Physik mit schnellen Ionen
Wie werden die elektrischen Eigenschaften eines PC-Prozessorseingestellt? Wie härtet man rostfreien Stahl? Wie vergräbt man dünne Schichten in Oberflächen? Schnelle Ionen werden heute für viele moderne "High-Tech"-Anwendungendazu benutzt, Oberflächeneigenschaften gezielt zu verändern, wie z.B.die elektrischen Eigenschaften von Halbleitern in der Mikroelektronik.Das Eindringen dieser schnellen Ionen in die Materie kann weitgehenddurch "Billard-Physik" beschrieben werden, d.h. durch die Stöße dereinfallenden Atome mit den Atomen des Festkörpers und die nachfolgendenStöße der Festkörperatome untereinander. Entsprechend wird einzweidimensionales Billard-Modell vorgeführt, das die Effekte derIonenbestrahlung, d.h. das Eindringen der Ionen, die Erzeugung vonStrahlenschäden und das Abtragen von Oberflächenatomen verdeutlicht. Ergänzt werden diese Versuche durch Video-Darstellungen vonComputersimulationen. Einige der wichtigsten Anwendungen werden aufdieser Basis beschrieben und diskutiert. PowerPoint-Folien zum Vortrag (1,7 MB)

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