2015-2019
The correct level of model complexity in semiconductor fab simulation - Lessons learned from practice
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
27th Annual IEEE/SEMI® Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC). Saratoga Springs, NY, USA, Mai 2016
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2016
Seiten
133-139
Referiert
Ja
Open Access
Ja
Berichtsjahr
2016
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