Patente
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Feuchtigkeitssensorelement und Verfahren zum Herstellen desselben, 2014
Gehäuse zur Verkapselung eines Mikroscannerspiegels, 2013
Feuchtigkeitssensorelement und Verfahren zum Herstellen desselben, 2013
Herstellungsverfahren zur Verkapselung eines Mikrospiegels, 2012
Imprint Template, Nanoimprint Device and Nanostructuring Method, 2011
Imprinttemplate, Nanoimprintvorrichtung und Nanostrukturierungsverfahren, 2011
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