Patents
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Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Nanoimprinttemplates, 2011
Auslenkbares mikromechanisches System sowie dessen Verwendung, 2010
Mikromechanisches Element und Sensor zur Überwachung eines mikromechanischen Elementes , 2009
Methode zur Herstellung gestapelter Nanoimprinttemplates mittels Transferpads bzw. -schichten, 2009
Reduzierung der dynamischen Deformation von Translationsspiegeln mit Hilfe von trägen Massen, 2009
Flüssigkeitshandhabungssystem, 2008
Faserverbundbauteil mit einer Sensor und Anzeigeeinheit, 2008
Akustisches Oberflächenwellenbauelement und Verfahren zu dessen Herstellung, 2007
Intelligentes Knopfelement, 2006
Resistiver hochsensitiver Gassensor und Verfahren zu dessen Herstellung, 2006
Diese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.