Zur Hauptnavigation springen
Zur Unternavigation springen
Zur Suche springen
Zum Inhalt springen

Veröffentlichte Journale 2007

11 bis 14 von 14 Einträgen

S., Menzel; D., Schmidt: Oberflächenwellen-Strukturen in Cu-Damaszentechnologie. In: Vakuum in der Forschung und Praxis 19 (2007), S. 4

Hellriegel, R.; Albert, M.; Hintze, B.; Winzig, H.; Bartha, J.W.: Remote plasma etching of titanium nitride using NF3/argon and chlorine mixtures for chamber clean applications. In: Microelectronic Engineering 84 (2007), S. 37–41

Wildenhain, M.; Knobbe, J.; Gehner, A.; Beyerlein, M.; Pfund, J.: Adaptiv-optische Abbildungskorrektur mit Wellenfrontsensoren und Mikrospiegelarrays. In: Photonik 3 (2007), S. 72–75

Günther, T.W.; Hartebrodt, M.; Lakner, H.: Leistungsmessung in öffentlichen Forschungseinrichtungen. In: Wissenschaftsmanagement 1 (2007), S. 28–35

Diese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.

Philipp Wenskus

Letzte Änderung: 22.09.2016