Publications 2006 11 bis 20 von 24 EinträgenHeuer, H.; Wenzel, C.; Herrmann, D.; Hübner, R.; Chang, Z.L.; Bartha, J.W.: Thin tantalum-silicon-oxygen/tantalum-silicon-nitrogen films as high efficiency humidity diffusion barriers for solar cell encapsulation. In: Thin Solid Films 515 (2006), S. 1612–1617Zimmer, F.; Grüger, H.; Heberer, A.; Sandner, Th.; Schenk, H.; Lakner, H.; Kenda, A.; Scherf, W.: Development of high-efficient NIR-scanning gratings for spectroscopic applications. In: Proceedings of SPIE 6114 (2006), S. 611407–1–611407–10Wolter, A.; Klose, T.; Hsu, S.-T.; Schenk, H.; Lakner, H.: Scanning 2D micromirror with enhanced flatness at high frequency. In: Proceedings of SPIE 6114 (2006), S. 61140L–1–61140L–8Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N.; Heber, J.; Schmidt, J. U.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.: High-performance coatings for micromechanical mirrors. In: Applied Optics 45 (7) (2006), S. 1602–1607Klose, T.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.: Extended damping model for out-of-plane-comb driven micromirrors. In: Proceedings of SPIE 6114 (2006), S. 61140J–1–61140J–12Krellmann, M.; Friedrichs, M.; Dauderstädt, U.; Wagner, M.; Lakner, H.: Bending of aluminum alloy beams depending on irradiance and repetition rate of UV laser radiation. In: Proceedings of SPIE 6111 (2006), S. 611109–1–611109–8Sandner, T.; Schmidt, J. U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, N.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A.: Highly reflective optical coatings for high power applications of micro scanning mirrors in the UV-VIS-NIR spectral region (Invited paper). In: Proceedings of SPIE 6114 (2006), S. 61140H–1–61140H–15Scholles, M.; Braeuer, A.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H. K.; Schenk, H.; Schreiber, P.; Schwarzenberg, M.: Design of miniaturized optoelectronic systems using resonant microscanning mirrors for projection of full-color images. In: Proceedings of SPIE 6288 (2006), S. 628807–1–628807–12Wagner, M.; Künzelmann, U.; Schenk, H.; Lakner, H.: Global flatness of spatial light modulators. In: Proceedings of SPIE 6114 (2006), S. 611404–1–611404–12Dürr, P.; Gehner, A.; Schmidt, J.; Kunze, D.; Wagner, M.; Lakner, H.: Microactuator with extended analog deflection at low drive voltage. In: Proceedings of SPIE 6114 (2006), S. 61140I–1–61140I–10Zurück 1 2 3 WeiterDiese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.