Publikationen der Professur
Automatic Fault Detection in Rails of Overhead Transport Systems for Semiconductor Fabs
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
30th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
Schlagwörter
Rails Artificial neural networks Sensors Fault detection Network topology Neurons Training fault detection OHT AMHS condition monitoring artificial neural network
Verlagsort
Saratoga Springs, NY, USA
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2019
Seiten
1-6
Referiert
Ja
Open Access
Ja
ISSN
2376-6697
Url/Urn/Doi
10.1109/ASMC.2019.8791756
Berichtsjahr
2019
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