Publikationen der Professur
Evaluating Automated Guided Vehicle System Characteristics in Semiconductor Fab Automated Material Handling Systems
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
30th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
Schlagwörter
AGV, semiconductor fabrication, AMHS, simulation
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2019
Seiten
1-6
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
2019
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