Details zur Lehrveranstaltung
Rasterelektronenmikroskopie | |
Modul: | Phy-Ba-Vert: Physikalische Vertiefung |
Vorlesungssprache | Deutsch |
Inhalt der Lehrveranstaltung: | Aufbau und Strahlführung am REM; physikalische Ursachen für den Bildkontrast; Bestimmung der chemischen Zusammensetzung; Analyse der Kristallstruktur, der Phasenverteilung und der Orientierung des Kristallgitters; Bestimmung von Verzerrungsfeldern und inneren Spannungen; Abbildung ausgedehnter Defekte; Untersuchung optischer und elektrischer Eigenschaften von Halbleitermaterialien |
Datensatz aktualisiert | |
Umfang: | Vorlesung: 2 Stunden/Woche |
Zeit/Ort: | FR(4) REC/B214 |
Hörerkreis: | Vertiefung Bachelor (PV) und Master (alle) |
Vertiefungsgebiet: | |
Vorkenntnisse: | Experimentalphysik III | Nachweis: | Teilnahmebestätigung |
Einschreibung: | Freitag, 07.04.2017 zur ersten |
Web-Referenz: | https://tu-dresden.de/mn/physik/iap/hlp/studium/lehrveranstaltungen |
In die Vorlesung sollen praktischen Übungen an einem Rasterelektronenmikroskop mit Feldemissionskathode (Zeiss Ultra55) integriert werden, die nach Rücksprache auch an Untersuchungsproben der Teilnehmer durchgeführt werden können. |