© Maik Simon
Professur für Nanoelektronik
Die Professur für Nanoelektronik beschäftigt sich mit Technologien, Werkstoffen und Bauelementen der Mikro- und Nanoelektronik und der damit verbundenen Prozessintegration. Es geht dabei um das Zusammenspiel von Fertigungsprozessen mit Dünnschichtmaterialien, der grundlegenden Materialuntersuchung und den daraus resultierenden Bauelementen. Das hierfür notwendige Know-how erstreckt sich dabei über einen breiten Bereich der Natur- und Ingenieurswissenschaften.
Die Professur unterhält hierfür auf 400m2 ein modernes Reinraumlabor, welches zum Teil Industriestandards übertrifft. Auch wenn die Ausstattung des Reinraums für „On-Chip-Interconnects“ konzipiert wurde, bearbeitet die Professur um Prof. Mikolajick auch Projekte zu waferbasiertem Aufbau und Verbindungstechnik (Flip-Chip-Bumping, Trough Silicon Via Technik, 3-D-Integration), MEMS und optoelektronischen Bauelementen, Graphen-basierten Prozessen oder Si-basierten Dünnschichtsolarzellen. Einen breiten Raum nehmen Untersuchungen von Atomlagen-Abscheideprozessen (ALD) ein, die hier mit einer einzigartigen Kombination von in-situ-Oberflächen- und Schichtanalytik erforscht werden.
In der Lehre werden von der Professur folgende Lehrveranstaltungen abgedeckt: