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Untersuchung zu Betriebsparametern bei der Behandlung eines Wasserstoffperoxid-haltigen Abwasserstroms
Art der Abschlussarbeit
Bachelor
Autoren
- Rothe, Clemens
Betreuer
- Dipl.-Ing. Astrid Weigert
Weitere Betreuer
Dipl.-Ing. Klaus Gunter (M+W Germany GmbH)
Abstract
Bei der Firma GLOBALFOUNDRIES fallen während der Produktion von Halbleitern verschiedene Abwasserströme an. Ein Teil der Produktion, das Chemisch-Mechanische Polieren, produziert Abwässer, welche unter anderem auch Wasserstoffperoxid und nicht näher spezifizierte Tenside enthalten. Während der Behandlung dieses Abwassergemisches zeigen sich Probleme wie Schwimmschlamm- und Schaumbildung. Da die Probleme ihre Ursache in einem gestörten Wasserstoffperoxidabbau haben können, wird dieser im Rahmen der Arbeit untersucht. Weiterhin wird der Einfluss verschiedener Prozessparameter auf die Wasserstoffperoxidzersetzung experimentell ermittelt, um diese zu optimieren und den Abbau verbessern zu können. Im letzten Teil der Arbeit werden alternative Behandlungsmöglichkeiten betrachtet, welche neben einem verbesserten Wasserstoffperoxidabbau auch Vorteile wie reduzierten Chemikalieneinsatz und Schlammanfall mit sich bringen.
Schlagwörter
Halbleiterindustrie, Abwasser, CMP, Wasserstoffperoxid, Tenside, Schaum
Berichtsjahr
2012