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Optimierung des Kühlturmbetriebes in der Halbleiterindustrie
Art der Abschlussarbeit
Master
Autoren
- Ringat, Justus
Betreuer
- Dipl.-Ing. Astrid Weigert
- Dipl.-Ing. Gerold Bönisch
Weitere Betreuer
Dipl.-Ing. Holger Golbs (X-FAB Dresden GmbH); Rico Brysch (X-FAB Dresden GmbH)
Abstract
Die X-FAB Dresden GmbH & Co. KG verarbeitet Siliziumwafer zu gemischt analog-digitalen integrierten Schaltkreisen. Zur Produktion werden Kühlprozesse und Reinstwasser benötigt. Über die Reinstwasseranlage werden das Reinstwasser sowie das Nachspeisewasser für den Kühlturmumlauf bereitgestellt. Das Nachspeisewasser wird aus dem Entsalzungsprozess der Umkehrosmose gewonnen.
Das Kühlturmumlaufwasser der X-FAB Dresden GmbH & Co. KG bewirkt die Bildung von Korrosion und Kalkschlamm in den vorhandenen Kühltürmen. Um dem entgegenzuwirken, werden die Umlauf- und Nachspeisewasser auf ihre Inhaltsstoffe untersucht. Aus den Untersuchungsergebnissen werden Korrosions- und Scalingsaffinitäten über Indizes sowie aus Literaturstudien abgeleitet. An verdunstungsreichen Tagen wird Trinkwasser noteingespeist.
In der vorliegenden Arbeit werden neben der Qualität, die Quantitäten der Wässer sowie des anfallenden Schlamms untersucht. Die Eignung des Kühlturmumlauf-wassers als solches, des Nachspeisewassers und die Quantitäten dessen werden in den Ergebnissen dargelegt und bewertet. Eine Kostenvergleichsrechnung zwischen den Betrieben mit Kühltürmen mit und ohne Kalk-Korrosionsschutz wird durchgeführt, zudem werden Empfehlungen gegeben.
Das Kühlturmumlaufwasser der X-FAB Dresden GmbH & Co. KG bewirkt die Bildung von Korrosion und Kalkschlamm in den vorhandenen Kühltürmen. Um dem entgegenzuwirken, werden die Umlauf- und Nachspeisewasser auf ihre Inhaltsstoffe untersucht. Aus den Untersuchungsergebnissen werden Korrosions- und Scalingsaffinitäten über Indizes sowie aus Literaturstudien abgeleitet. An verdunstungsreichen Tagen wird Trinkwasser noteingespeist.
In der vorliegenden Arbeit werden neben der Qualität, die Quantitäten der Wässer sowie des anfallenden Schlamms untersucht. Die Eignung des Kühlturmumlauf-wassers als solches, des Nachspeisewassers und die Quantitäten dessen werden in den Ergebnissen dargelegt und bewertet. Eine Kostenvergleichsrechnung zwischen den Betrieben mit Kühltürmen mit und ohne Kalk-Korrosionsschutz wird durchgeführt, zudem werden Empfehlungen gegeben.
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- Trink-, Reinst- und Prozesswasseraufbereitung
Schlagwörter
Korrosion, Kalk, Kalkschlamm, VDI 3803, VDI 2047, Kühlturm, Umkehrosmosekonzentrat, Kühlturmumlaufwasser, Ryznar, Langelier
Berichtsjahr
2014