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Untersuchung zur Energieeinsparung in höher temperierten Reinstwasser-Versorgungssystemen durch Kreislaufführung von Rücklaufströmungen
Art der Abschlussarbeit
Master
Autoren
- Chen, Yue
Betreuer
- Prof. Dr. André Lerch
- Dipl.-Ing. Astrid Weigert
Weitere Betreuer
Dipl.-Ing. Michael Wotzka (Extern)
Abstract
Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Optimierung des vorhandenen Reinstwasser-Polishing Systeme in Halbleiterindustrie durch die Abwärmerückgewinnung. Die Energieeinsparpotenzialen wurden durch den Vergleich der benötigten Energiemenge der unterschiedlichen Systeme sowie „mit der Kreislaufführung“ und „ohne der Kreislaufführung“ im Ist-Zustand bestimmt. Dabei wurden die Energieverluste in den Anlagen, Rohrleitungen und beim Verbraucher analysiert. Um die Systeme besser zu betrachten, wurden verschiedene Szenarien mit den unterschiedlichen Verbrauchsmengen (min, nom, max) erstellt. Hinsichtlich der Ergebnisse wurden die Möglichkeiten der Energie- und Kosteneinsparung des Systems mit der Kreislaufführung begutachtet. Die Rückführung des Filtrats der Konzentrat-Ultrafiltration und Dämmen ungedämmter Einbauten und Analgen können eine Reduzierung des Energieverbrauchs sowie Kosten bewirken.
Schlagwörter
Reinstwasser-Polishing Systeme, Abwärmerückgewinnung, Kreislaufführung, Energieeinsparung, Kosteneinsparung
Berichtsjahr
2019