Veröffentlichte Journale 2009

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Richter, A.; Paschew, G.: Optoelectrothermic Control of Highly Integrated Polymer-Based MEMS Applied in an Artificial Skin. In: Adv. Mater. 2009 , 21 (2009), S. 979–983

Richter, A.; Klatt, S.; Paschew, G.; Klenke, C.: Micropumps operated by swelling and shrinking of temperature-sensitive hydrogels. In: Lab Chip 9 (2009), S. 613–618

Starke, E.; Kunadt, A.; Roscher, K.-U.; Pfeifer, G.; Fischer, W.-J.: Integrierte drahtlose Sensornetzwerke : Zwischenbericht SFB 639, Teilprojekt D3, 01/2004-09/2009. In: Preprint TU Dresden, Oktober 2009 (2009)

Menzel, S. B.; Thomas, J.; Weißker, U.; Schäffel, F.; Hoßbach, C.; Albert, M.; Hampel, S.; Gemming, T.: Preparation of CNT-Copper Matrix Composite Films. In: Journal of Nanoscience and Nanotechnology 9 (2009), Nr. 10, S. 6096–6103

Richter, K.; Viehweger, K.; He, J.; Bartha, J.W.: Creation of Vias With optimized Profile for 3-D Through Silicon Interconnects (TSV). In: Plasma Process. Polym. 6 (2009), S. 193–197

Keil, K.; Hauptmann, M.; Kretz, J.; Constancias, C.; Pain, L.; Bartha, J.W.: Resolution and total blur: Correlation and focus dependencies in e-beam lithography. In: J. Vac. Sci. Technol. B27 (2009), Nr. 6, S. 2722–2725

Rose, M.; Niinistö, J.; Michalowski, P.; Gerlich, L.; Wilde, L.; Endler, I.; Bartha, J.W.: Atomic Layer Deposition of Titanium Dioxide Thin Films from Cp*Ti(OMe)3. In: J. Phys. Chem. C 2009 113 (2009), S. 21825–21830

Strehle, S.; Wetzig, K.; Bartha, J.W.: Electrical properties of electroplated Cu(Ag) thin films. In: Thin Solid Films 517 (2009), S. 3320–3325

Schenk, H.; Sandner, T.; Drabe, C.; Klose, T.; Conrad, H.: Single crystal silicon micro mirrors . In: Physica Status Solidi C 6 (2009), Nr. 3, S. 728–735

Grahmann, J.; Conrad, H.; Sandner, T.; Klose, T.; Schenk, H.: Integrated position sensing for 2D micro scanning mirrors using the SOI-Device layer as the piezoresistive mechanical-elastic transformer. In: SPIE Proc. of Photonics West vol. 7208 (2009), S. 720808–1–720808–10

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Philipp Wenskus
Letzte Änderung: 22.09.2016